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產(chǎn)品資料

真空烤盤爐

  • 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
  • 產(chǎn)品名稱:真空烤盤爐
  • 產(chǎn)品型號:YY-650G真空烘烤爐
  • 產(chǎn)品展商:燕園科技
  • 產(chǎn)品文檔:無相關(guān)文檔
簡單介紹

真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。

產(chǎn)品描述

應(yīng)用范圍:

主要用于有效處理MOCVD承受器 (SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達(dá)到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。

設(shè)計特點(diǎn):

1、后門設(shè)計熱風(fēng)電機(jī)

2、降溫時風(fēng)機(jī)開啟,同時兩端降溫封頭開啟, 爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向

3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn) 行熱交換,達(dá)到快速降溫的目的

4、內(nèi)部系統(tǒng)結(jié)構(gòu)及原理:

規(guī)格信息:





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